Science meets Industry

Workshops

16:30 - 18:30 Uhr

Innovationsworkshop SenSa: Zukunft der Sensortechnologien

Sensorik Sachsen SenSa Logo

Im Rahmen dieses Workshops sollen die Pitches mit Sensorikbezug aus der vorangegangen Pitch- & Demo-Session in kleinen Arbeitsgruppen weiter vertieft werden. Dabei stehen die Pitchgeber zum einen für vertiefende Ausführungen zur präsentierten Technologie bzw. Entwicklung bereit und zum anderen bietet sich die Gelegenheit, Partner für neue Projekte zu finden, sich thematisch auszutauschen und ggf. weitere Kooperationen anzubahnen. Speziell dem Austausch zwischen Technologiegebern und dem Bedarf aus der Industrie soll somit eine aktive Plattform geschaffen werden.

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Diese Maßnahme wird mitfinanziert mit Steuermitteln auf Grundlage des von den Abgeordneten des Sächsischen Landtags beschlossenen Haushaltes.

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Workshop-Leiter

Stefan Uhlig

Stefan Uhlig

Silicon Saxony Management GmbH


16:30 - 18:30 Uhr

Anwenderworkshop - Kundenspezifisch adaptierte piezoelektrische Mikrosysteme für industrielle Sensorik

Piezoelektrisches Ultraschallwandler-Array für bildgebende Sensoren im Bereich der Medizintechnik, Maschinenüberwachung oder autonomen Fortbewegung.Abbildung 1:
Piezoelektrisches Ultraschallwandler-Array für bildgebende Sensoren im Bereich der Medizintechnik, Maschinenüberwachung oder autonomen Fortbewegung. (Bildquelle: Fraunhofer ENAS)

Piezoelektrische Mikrosysteme durchdringen mit Beginn des 21. Jahrhunderts zunehmend unseren Alltag. Als HF-Filter werden diese in Smartphones oder zur Bildgebung in medizinischer Ultraschalldiagnostik verwendet.

Piezoelektrische Wandler zeichnen sich durch einen hohen Dynamikbereich, große Kräfte und Auslenkungen der Aktoren und große Sensitivitäten der Sensoren aus. Im Gegensatz zu elektrostatischen Mikrosystemen können piezoelektrische Wandler in Flüssigkeiten und rauen Umgebungsbedingungen arbeiten. Die piezoelektrischen Sensoren generieren intrinsische Signale und können daher in autarken Sensorsystemen auch ohne externe Energiezufuhr, als Ultra-Low-Power-Systeme oder Energy Harvester, arbeiten. Die Verwendung piezoelektrischer mikromechanischer Wandler vergrößert damit den Einsatzbereich von Sensoren und Aktoren in der Mikrosystemtechnik maßgeblich.

Das Fraunhofer ENAS und das Zentrum für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz haben eine Technologie zur Herstellung Aluminiumnitrid-basierter, piezoelektrischer Mikrosysteme entwickelt. Diese ermöglicht es, individuelle Mikrosensoren und -aktoren für industrielle Anwendungen in kleiner und mittlerer Stückzahl bereitzustellen. In mehreren globalen Kooperationen werden bereits industrielle Sensoren und Aktoren für Flüssigkeitsanalyse (industrielle Öle), bildgebende Produkte für autonome Systeme (z.B. im Bereich Automotive), intelligente Maschinen und Medizintechnik  (siehe Abbildung 1) und Inertialsensoren für autarke Systeme (siehe Abbildung 2) entwickelt und z.T. in die industrielle Anwendung überführt.

Das verwendete piezoelektrische Material (Aluminiumnitrid) ist CMOS-kompatibel, bleifrei, hysteresefrei, unempfindlich gegenüber elektromagnetischen Feldern und zeigt keine Alterungseffekte, wie sie bei PZT-basierten (Blei-Zirkonat-Titanat) Wandlern auftreten.

Wir zeigen Ihnen die Vorteile AlN-basierter Systeme sowie ausgewählte Anwendungsszenarien und diskutieren mit Ihnen weitere Anwendungsmöglichkeiten.

Funktionsprinzip eines energieautarken Wake-Up MEMS zum Aufwecken einer elektronischen Schaltung.
Abbildung 2:
Funktionsprinzip eines energieautarken Wake-Up MEMS zum Aufwecken einer elektronischen Schaltung. (Bildquelle: Fraunhofer ENAS)

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Workshop-Leiter

Dr. Sven Zimmermann

Dr. Sven Zimmermann

Fraunhofer ENAS


Seien Sie dabei!

Tickets

Für Mitglieder des Silicon Saxony, Cool Silicon und den Partnernetzwerken des Innovationsclusters SenSa (AMZ, BioSaxony, BTS, OES, VEMAS und LRT) sowie Studenten ist die Teilnahme kostenfrei, Nichtmitglieder zahlen eine Teilnahmegebühr von 100,- EURO zzgl. MwSt.

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