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X-FAB: Einzigartige Prototyping-Plattform bringt Mikroelektronik und Fluid-Handling zusammen

  • X-FAB: Einzigartige Prototyping-Plattform bringt Mikroelektronik und Fluid-Handling zusammen
    Illustration einer mikrofluidischen Vorrichtung auf Siliziumbasis.

X-FAB Silicon Foundries SE hat weitere Schritte unternommen, um sich als die "Go-to-Foundry" für siliziumbasierte Mikrofluidik zu etablieren. Das Unternehmen ist nun in der Lage, eine Reihe von Lösungen anzubieten, die die Implementierung von mikrofluidischen Strukturen direkt auf CMOS-Chips unterstützen. Dadurch werden die Kunden besser in der Lage sein, die sich ergebenden kommerziellen Möglichkeiten zu nutzen, die sich auf Lab-on-a-Chip, DNA-Sequenzierung und -Synthese, Sortierung seltener Zellen, medizinische Implantate, pharmazeutische Forschung, Medikamentenverabreichung, Lebensmittelsicherheitstests und viele andere Anwendungen beziehen.

 

Die Kunden werden Zugang zu allen Schlüsselelementen haben, die für die Entwicklung chipbasierter mikrofluidischer Subsysteme erforderlich sind. Dadurch können sie die Prototyping-Phase ihrer Projekte viel schneller durchlaufen und zu einem Punkt gelangen, an dem sie eine Produktion im großen Maßstab in Erwägung ziehen können. Durch die Bündelung zahlreicher Elemente wird es für die Kunden nicht mehr notwendig sein, mit vielen verschiedenen Anbietern zusammenzuarbeiten. Dies bedeutet, dass die Integrationsprobleme, die im Allgemeinen bei komplexen Projekten mit mehreren Anbietern auftreten, vermieden werden können.

Durch den Einsatz des 350-nm-Hochspannungs-Analog/Mixed-Signal-CMOS-Prozesses XH035 von X-FAB, der für Anwendungen mit hohem Signal-Rausch-Verhältnis optimiert ist, kann das Unternehmen zahlreiche mikrofluidische Nachbearbeitungsaktivitäten durchführen. Diese können an seinen hochmodernen MEMS-Fertigungsstandorten in Deutschland durchgeführt werden, wobei Multi-Level-Mask (MLM)-Techniken eingesetzt werden, um die Gesamtkosten für die Prototypenfertigung niedrig zu halten.

Die Kunden werden von den verschiedenen Standardprozessblöcken profitieren können, die bei X-FAB entwickelt wurden und sich in Silizium bewährt haben. Die verfügbaren Prozessoptionen umfassen:

  • Erste Vorbereitung des CMOS-Wafers für die mikrofluidische Integration durch planarisierte Passivierung zusammen mit Durchkontaktierungen.
  • Anbringen von Edelmetallelektroden (entweder auf Gold- oder Platinbasis), die als Schnittstellen für die fluidischen Proben dienen.
  • Das Hinzufügen einer Trockenfilm-Resist-Deckschicht (in die mikrofluidische Kanäle eingekerbt werden können) mit einem optionalen Glaskappen-Wafer

Zur weiteren Unterstützung können auch das Designhaus, der Testbetrieb und Komplettanbieter im X-Chain-Partnernetzwerk hinzugezogen werden. Dies bedeutet, dass Kunden mit begrenzten Vorkenntnissen in der Entwicklung eines kundenspezifischen Chips jederzeit Zugang zu den benötigten Dienstleistungen erhalten.

"Die Mikrofluidik stellt einen sehr anspruchsvollen anwendungsspezifischen Markt dar, der vollständig optimierte kundenspezifische Lösungen und beträchtliche Investitionen erfordert", erklärt Oliver Foellmer, Product Marketing Manager bei X-FAB. "Aus unseren Gesprächen mit Kunden, die in diesem Sektor tätig sind, wird deutlich, dass sie umfassenden Prototyping-Support aus einer Hand erhalten müssen. Dank unserer neuen Mikrofluidik-Prototyping-Plattform tragen wir dazu bei, die Entwicklungszyklen zu beschleunigen und die finanziellen Schwellenwerte zu senken, so dass Kunden unabhängig von ihrer Größe oder ihren Fähigkeiten innovative Mikrofluidik-Projekte auf Siliziumbasis in Angriff nehmen können", schließt er.

Kunden können ab sofort Zugang zu X-FABs neuer Mikrofluidik-Prototyping-Plattform erhalten, wobei der erste Prototyping-Lauf für Anfang Q1 2021 geplant ist. Wenn Sie mehr über kundenspezifisches Prototyping mit dieser Plattform erfahren möchten, wenden Sie sich bitte hier an das X-FAB-Team.

Über X-FAB
X-FAB ist die führende Analog/Mixed-Signal- und MEMS-Foundry-Gruppe, die Siliziumwafer für Automobil-, Industrie-, Verbraucher-, Medizin- und andere Anwendungen herstellt. Durch den Einsatz von X-FABs modularen CMOS- und SOI-Prozessen in Geometrien von 1,0 bis 0,13 µm und seinen speziellen SiC- und MEMS-Langzeitprozessen profitieren Kunden weltweit von höchsten Qualitätsstandards, exzellenter Fertigung und innovativen Lösungen. Die analog-digitalen integrierten Schaltungen (Mixed-Signal-ICs), Sensoren und mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS) von X-FAB werden in sechs Produktionsstätten in Deutschland, Frankreich, Malaysia und den USA hergestellt. X-FAB beschäftigt weltweit etwa 3.800 Mitarbeiter.

Weiterführende Links

www.xfab.com

Grafik: X-FAB