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SOLAYER: Serienmäßige Produktion standardisierter Modelle der Hochdurchsatz-Beschichtungswerkzeuge

  • SOLAYER: Serienmäßige Produktion standardisierter Modelle der Hochdurchsatz-Beschichtungswerkzeuge
    SOLAYER's advanced sputtering system.

Als neue Phase seiner Strategie, Kunden in der Präzisionsoptikindustrie zu bedienen, berichtete SOLAYER heute, dass das Unternehmen nun standardisierte Modelle seiner hochpräzisen Beschichtungswerkzeuge in Serie herstellt. Das Unternehmen ist ein Innovator von plasmabasierten Oberflächenbehandlungstechnologien für Hersteller von Spezialglas und Photonikprodukten, die 3D-Sensoren, Telekommunikation, LIDAR und andere Anwendungen ermöglichen. SOLAYERs Werkzeuge, wie das Flaggschiff der AVIOR M-300 Sputteranlage, können eine große Bandbreite an ultradünnen Schichten mit außergewöhnlicher Präzision aufbringen. Sie liefern eine ausgezeichnete Schichtgleichmäßigkeit mit hoher Zuverlässigkeit in der Massenproduktion bei niedrigen Betriebskosten. Zu gegebener Zeit wird das Unternehmen auch Kunden aus der Halbleiterindustrie bedienen.

Seit 2007 konzentriert sich SOLAYER auf die Entwicklung spezialisierter Beschichtungstechnologien für Forschungs- und Pilotlinien sowie die Massenproduktion. Zu den Technologien gehören die Plasmavorbehandlung, Magnetron-Sputtern, PECVD und RTP durch Blitzlampenglühen. Im Jahr 2016 begann das Unternehmen mit der Entwicklung von Produkten für den Photonikmarkt, wobei es zunächst kundenspezifische Werkzeuge für spezielle Produktionslose und nun standardisierte Systeme für die Massenproduktion anbietet. Ende 2019 zog SOLAYER die Finanzierung von einem strategischen Investor in China ein.

Gesputterte Folien: Ermöglichung von Innovationen für Photonik-Anwendungen
Da die Photonikprodukte immer ausgefeilter werden, sind die Anforderungen an die Herstellung immer strenger. Insbesondere die Beschichtungsspezifikationen für optische Filme sind komplexer, und die Qualitätsanforderungen sind hoch. Das fortschrittliche Sputtern hat sich als ideale Technik erwiesen, da es die Erzeugung von Filmen mit hoher Dichte, besserer Stabilität, hoher Gleichmäßigkeit und minimalen optischen Verlusten ermöglicht. Die verschiebungsfreie Struktur sorgt für eine vorhersehbare mechanische Festigkeit unter Spannungsbedingungen - was die Qualität verstärkt.

Modulare, skalierbare optische Beschichtungslösungen für Flexibilität, Produktivität und Leistung
Die vollautomatischen optischen Beschichtungswerkzeuge von SOLAYER sind auf die Erfordernisse der Fertigung ausgerichtet. Sie sind mit modularen, skalierbaren Plattformen ausgestattet und für eine einfache Inbetriebnahme sowie maximale Flexibilität und Betriebszeit ausgelegt. Das AVIOR M-300-System, das führende Werkzeug des Unternehmens, ist für die Serienproduktion auf Substraten bis 300 mm ausgestattet. Seine Konfiguration mit Sputtern nach oben und mit der Substratoberfläche nach unten eliminiert praktisch alle Partikel und liefert gleichzeitig einen reproduzierbaren Beschichtungsprozess mit erweiterter Stabilität. Die Ausnutzung des Zielmaterials beträgt etwa 85 Prozent (Silizium-, Niob-, Tantal- und amorphe Siliziumoxide usw.), und der Durchsatz ist fast 50 Prozent höher (24' x 200 mm-Substrate) als bei den Werkzeugen der Konkurrenz.

"Wir freuen uns, diesen Meilenstein in der Massenproduktion zu erreichen", sagte SOLAYER-CEO Mathias Hoefler. "Unsere Werkzeuge sind das Ergebnis umfangreicher Forschung und Entwicklung und werden mit deutschem Einfallsreichtum im Herzen von Silicon Saxony gebaut. Neben den Vorteilen in Bezug auf Leistung, Durchsatz und Ausbeute bieten sie Kunden, die hochmoderne Präzisionsoptikprodukte mit sehr komplexen Beschichtungsanforderungen herstellen, überlegene Kostenvorteile", so Mathias Höfler.

Die SOLAYER-Werkzeuge werden weiter differenziert durch Komponenten, die speziell für den Einsatz in der optischen Industrie entwickelt und qualifiziert wurden. Für die Kunden bedeutet dies spezialisierte Werkzeuge mit kundenspezifischen Teilen, die in ihrer Kombination äußerst zuverlässige und kostengünstige Beschichtungsprozesse ermöglichen.

Neben dem AVIOR M-300-System umfassen die optischen Beschichtungslösungen von SOLAYER auch das ALASCO, ein modulares Cluster-Beschichtungswerkzeug, und das ALIOTH, ein vielseitiges Inline-Beschichtungssystem, die ein komplettes Portfolio für die unterschiedlichen Bedürfnisse der Kunden bieten.

Weiterführende Links

www.solayer.de

Foto: SOLAYER

 

 

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