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X-Fab: Erweitertes Foundry-Angebot für siliziumbasierte Mikrofluidik

  • X-Fab: Erweitertes Foundry-Angebot für siliziumbasierte Mikrofluidik
    Um den steigenden Anforderungen gerecht zu werden, hat X-FAB Silicon Foundries SE Schritte unternommen, um die Integration von mikrofluidischen Elementen mit CMOS- und SOI-Chips zu vereinfachen.

Um den steigenden Anforderungen gerecht zu werden, hat X-FAB Silicon Foundries SE Schritte unternommen, um die Integration von mikrofluidischen Elementen mit CMOS- und SOI-Chips zu vereinfachen. Als Teil seines umfangreichen MEMS-orientierten Technologieangebots ist das Unternehmen nun in der Lage, eine große Vielfalt an Prozessfähigkeiten für siliziumbasierte mikrofluidische Systeme anzubieten. In Kombination mit einem hoch standardisierten Foundry-Ansatz wird dies dazu beitragen, Markteintrittsbarrieren zu beseitigen und Entwicklungszyklen zu verkürzen.

 

 

 

X-FAB hat sich bereits als führende Halbleiter-Foundry im Hinblick auf die Integration siliziumbasierter Mikrofluidik etabliert und in den letzten 5 Jahren Investitionen in Höhe von 25 Millionen US-Dollar in diesem Bereich getätigt. In dieser Zeit hat das Unternehmen zahlreiche Projekte für Kunden aus Medizin und Industrie durchgeführt. Dazu gehören Anwendungen wie Lab-on-a-Chip, DNA-Sequenzierung und -Synthese, Krebsdiagnostik usw. Durch diese Projekte hat das Ingenieurteam des Unternehmens unübertroffene Kompetenz in Bereichen wie Edelmetallverarbeitung, tiefes reaktives Ionenätzen mit hohem Aspektverhältnis (DRIE) und die Abscheidung sowohl organischer als auch anorganischer Materialien erlangt. Das Team ist auch sehr versiert in der Anpassung der Schnittstellen, die für die Verbindung von CMOS-Chips und den dazugehörigen Mikrofluidikelementen benötigt werden, so dass die genauen Anwendungsanforderungen erfüllt werden können.

Auf der Grundlage all dieser Fachkenntnisse hat das Unternehmen seine Prozessfähigkeiten erweitert: 

  • Edelmetall-Elektroden-Arrays 
  • Anorganische Schichten für Oberflächenpassivierung und -schutz
  • Tiefe Siliziumgräben und Hohlräume
  • Gebondete Silizium- oder Glasdeckel-Wafer
  • Polymere fluidische Strukturen

Das Unternehmen erweitert kontinuierlich sein Portfolio an Standardprozessblöcken, die diese Fähigkeiten abdecken. Anstatt komplexe Mikrosystemdesign-Projekte von Grund auf neu zu beginnen, wird es möglich sein, vorhandene Prozess-IP wiederzuverwenden und dadurch einen Vorsprung zu gewinnen. Dies wird dazu beitragen, die Produktentwicklungszyklen zu beschleunigen und die Skalierung bis zur Serienproduktion zu erleichtern. Zu den zahlreichen neuen Möglichkeiten, die ins Auge gefasst werden, gehört die Entwicklung von MEMS-Lösungen für die Verabreichung von Medikamenten, die Durchflussmessung und die Überwachung der Umweltverschmutzung.
 
"Wir sehen eine wachsende Zahl von Anfragen zur Implementierung von Mikrofluidik auf Siliziumbasis. Folglich ist unser Ingenieurteam bestrebt, zwei Welten zusammenzubringen, so dass das tiefe Verständnis der medizinischen OEMs für Physiologie und Flüssigkeitsanalyse mit X-FABs Wissen über hochvolumige Halbleiterfertigungstechnologien kombiniert werden kann", erklärt Volker Herbig, VP des MEMS-Geschäftsbereichs von X-FAB. "Wir freuen uns, unsere Kunden aus der Medizin bei der Entwicklung ihrer intelligenten integrierten mikrofluidischen Systeme durch die Vielzahl neuer Prozessmöglichkeiten, die wir jetzt anbieten können, unterstützen zu können".

Um den vollen Umfang seiner Mikrofluidik-Fähigkeiten zu skizzieren, wird X-FAB am 27. und 28. Mai ein informatives Webinar veranstalten. Anmeldungen sind auf register.gotowebinar.com/rt/9165593107712875534 möglich.

Über X-FAB
X-FAB ist die führende Analog/Mixed-Signal- und MEMS-Foundry-Gruppe, die Siliziumwafer für Automobil-, Industrie-, Verbraucher-, Medizin- und andere Anwendungen herstellt. Durch den Einsatz von X-FABs modularen CMOS- und SOI-Prozessen in Geometrien von 1,0 bis 0,13 µm und seinen speziellen SiC- und MEMS-Langzeitprozessen profitieren Kunden weltweit von höchsten Qualitätsstandards, exzellenter Fertigung und innovativen Lösungen. Die analog-digitalen integrierten Schaltungen (Mixed-Signal-ICs), Sensoren und mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS) von X-FAB werden in sechs Produktionsstätten in Deutschland, Frankreich, Malaysia und den USA hergestellt. X-FAB beschäftigt weltweit etwa 3.800 Mitarbeiter.

Weiterführende Links

www.xfab.com  

Foto: X-Fab