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Fraunhofer FEP: Effektive Abscheidung dünner Isolationsschichten für Sensoren in der Wasserstofftechnik

  • Fraunhofer FEP: Effektive Abscheidung dünner Isolationsschichten für Sensoren in der Wasserstofftechnik
    REM-Aufnahme einer stationären Abscheidung von 5 µm SiO² auf 3 µm tiefen Silizium-Strukturen im Querschnitt

Im Rahmen des Verbundprojekts NaFuSS (BMBF 13N13171) haben die Wissenschaftler des Fraunhofer-Instituts für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP neue Ansätze zur Abscheidung defektarmer Isolationsschichten untersucht. Ziel ist es, betriebssichere und langlebige Drucksensoren für die zunehmend an Bedeutung gewinnende Wasserstofftechnik zu ermöglichen.

 

In den letzten Jahren haben Elektroautos einen wahren Boom erfahren. Durch ein zunehmendes Umdenken hin zu umweltfreundlicherem Verhalten im Alltag kaufen immer mehr Menschen Elektroautos oder nutzen Carsharing-Angebote in den Städten, die auch zunehmend auf Elektroautoflotten setzen. Allerdings haben Elektroautos bisher noch ein großes Manko. Aufgrund der langen Ladezeiten sind sie für Vielfahrer, Menschen mit einem hohen Bedürfnis nach Flexibilität z.B. durch Bereitschaftsdienste, für den öffentlichen Personennahverkehr oder auch Lastkraftfahrzeuge noch keine erwägbare Alternative. Diese gibt es aber an anderer Stelle. Fahrzeuge mit Wasserstoffantrieb benötigen weniger als 5 Minuten, um betankt zu werden und stellen damit eine echte Alternative zu den vorherrschenden Antrieben dar.

Es gibt aber auch hier noch Hürden. Wasserstoff ist in Verbindung mit Sauerstoff äußerst leicht entzündlich und stellt damit schnell eine Gefahrenquelle dar. Dessen Speicherung in Wasserstofftanks erfolgt zudem mit Drücken von teils über 700 bar. Deshalb sind zur genauen Überwachung hochpräzise, leistungsstarke Sensoren notwendig. Da Wasserstoff aufgrund seines atomaren Aufbaus extrem flüchtig ist und sogar durch Stahl diffundiert, ergeben sich besonders hohe Anforderungen an Korrosionsbeständigkeit, Temperaturstabilität, Protonenbarriere, Isolationsfestigkeit und Explosionsschutz der Komponenten.

Um zuverlässige Sensoren für die Wasserstofftechnik realisieren zu können, haben die Wissenschaftler des Fraunhofer FEP nun mittels reaktiven Magnetron-Sputterns eine Technologie zur Abscheidung defektarmer Isolationsschichten mit minimaler Protonendiffusion und sehr guter Isolationsfestigkeit entwickelt. Diese greift auf nanofunktionale Materialien zurück.

Es können jetzt Isolationsschichtsysteme auf rauen Stahloberflächen abgeschieden werden, die mit einer Spannungsfestigkeit von über 2000 V und einem spezifischen Widerstand von mehr als 1x1015 ?cm die Anforderungen der Explosionsprävention in der Wasserstofftechnik erfüllen. Gleichzeitig wurde eine sehr wirksame Protonenbarriere nachgewiesen, die selbst bisher eingesetzte Gold-Schichten übertrifft. "Die so erzeugte Isolationsschicht ist mit ihren Eigenschaften einzigartig. Eine vergleichbare Schicht ist in der Praxis bislang noch nicht ökonomisch realisiert worden. Durch das neue Verfahren ist es nun möglich, mit einer Abscheiderate von ca. 2 nm/s Sensoren zu beschichten und industriell herzustellen", erklärt Projektleiter Jan Hildisch.

Der neue Ansatz zur Verbesserung der Spannungsfestigkeit besteht in der Abscheidung von Isolationsschichten mit glättender Wirkung. Auf diesem Weg lassen sich auch raue Oberflächen sowie Strukturen und Gräben bis zu einem Aspekt-Verhältnis von 1:1 bedecken bzw. auffüllen. Die Kombination aus Magnetron-Sputtern und anderen Verfahren der Schichtabscheidung im Vakuum, insbesondere der Atomlagenabscheidung (ALD), trägt außerdem maßgeblich zur Entwicklung bei. Dadurch lassen sich Defekte in der Schicht vollständig einhüllen und die Spannungsfestigkeit zusätzlich verbessern.

Die erfreulichen Ergebnisse sollen nun die Grundlage für weiterführende Kooperationen mit Industriepartnern bieten, um gemeinsam Sensoren für die Wasserstofftechnik zu entwickeln und ökonomisch in Serie herzustellen. Derzeit arbeiten die Wissenschaftler daran, die Technologie weiter zu optimieren und auch auf andere Anwendungsgebiete zu übertragen. Auf der PSE sowie zur electronica stehen die Wissenschaftler für weiterführende Diskussionen zur Entwicklung bereit.

Über das Fraunhofer FEP

Das Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP arbeitet an innovativen Lösungen auf den Arbeitsgebieten der Vakuumbeschichtung, der Oberflächenbehandlung und der organischen Halbleiter. Grundlage dieser Arbeiten sind die Kernkompetenzen Elektronenstrahltechnologie, Sputtern, plasmaaktivierte Hochratebedampfung und Hochrate-PECVD sowie Technologien für organische Elektronik und IC-/Systemdesign. Fraunhofer FEP bietet damit ein breites Spektrum an Forschungs-, Entwicklungs- und Pilotfertigungs-möglichkeiten, insbesondere für Behandlung, Sterilisation, Strukturierung und Veredelung von Oberflächen sowie für OLED-Mikrodisplays, organische und anorganische Sensoren, optische Filter und flexible OLED-Beleuchtung. Ziel ist, das Innovationspotenzial der Elektronenstrahl-, Plasmatechnik und organischen Elektronik für neuartige Produktionsprozesse und Bauelemente zu erschließen und es für unsere Kunden nutzbar zu machen.

Weiterführende Links
 
www.fep.fraunhofer.de

Foto: Fraunhofer FEP