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FRT GmbH und Fraunhofer ENAS: Oberflächenmessgerät für die Charakterisierung lateraler und vertikaler Probenverformungen

Auf der SENSOR+TEST 2018 in Nürnberg stellt das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS vom 26. bis 28. Juni 2018 zusammen mit den Projektpartnern Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH und FRT GmbH das optische Oberflächenmessgerät MicroProf® TL vor. Der MicroProf® TL ist ein optisches Oberflächenmessgerät für die vollautomatische 3D-Oberflächenmessung in einer Vielzahl von Anwendungen, wie Leiterplattendesign und -simulation, 3D-IC, MEMS, gestapelte Wafer, Fehleranalyse und viele weitere. Die FRT GmbH präsentiert das Messgerät als neuestes Mitglied der MicroProf®-Serie.

 

 

 

Die Besonderheit des MicroProf® TL ist seine Thermoeinheit mit voll integrierter Heiz- und Kühlplatte. Der Temperaturbereich reicht von 10 °C (bzw. -80 °C bei Flüssigstickstoffkühlung) bis 400 °C, mit schnellen Aufheiz-/Kühlraten und gleichmäßiger Temperaturverteilung über die Probenoberfläche.

Zusätzlich zu den Topographiemessungen kann das System mit dem microDAC® TL, einem 2,5D-Deformationssensor der Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH, erweitert werden. Die hochpräzise Kameraeinstellung erlaubt es dem Anwender, globale und lokale Verformungsfelder mit einer Genauigkeit von bis zu 50 nm zu messen. Mit dem MicroProf® TL ist es daher möglich, sowohl die laterale als auch die vertikale Probenverformung unter thermischer Belastung mit höchster Messwertauflösung zu charakterisieren. Damit kann das Bauteilverhalten unter Arbeitsbedingungen bestimmt und verschiedene Prozessschritte simuliert werden.

Das Fraunhofer ENAS ist Referenzlabor und nutzt die gewonnenen Daten zur Überprüfung von Simulationen und zur Optimierung von Simulationsmodellen. Das Institut erstellt außerdem den Anforderungskatalog für die Messeinrichtung, die u.a. im EU-Projekt TRACE weiterentwickelt wird.

Der MicroProf® TL ist ein Beitrag des Fraunhofer ENAS im Rahmen der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland als passfähige und zuverlässige innovative Systemlösung, die mit Projektpartnern zusammen entwickelt wurde. Die ständig wachsende Komplexität mikroelektronischer Systeme stellt eine enorme Herausforderung an den Entwurf und die Fertigung dieser Systeme dar. Neue Anforderungen hinsichtlich Energieeffizienz, Leistungsfähigkeit, Baugröße und vor allem der Zuverlässigkeit der Mikrosysteme müssen von Beginn an berücksichtigt werden. Das Messgerät der MicroProf®-Serie unterstützt dabei die Bewertung von Zuverlässigkeit und Lebensdauer unter Berücksichtigung der Anforderungen aus Anwendungssicht.

Weiterführende Links

www.enas.fraunhofer.de 
www.frtmetrology.com