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“Wie recycle ich Wafer richtig” ist eine Frage, die alle Halbleiterhersteller weltweit beschäftigt. Die gängigste Methode ist das sogenannte Rework, also das Bearbeiten der Waferoberfläche, um bereits gefertigte Strukturen zu entfernen und den Wafer erneut nutzen zu können. Das schont Ressourcen und reduziert Kosten.

Für einen Auftragsfertiger wie Globalfoundries gelten dabei besondere Anforderungen - bei den Strukturen handelt es sich um das intellektuelle Eigentum (IP) seiner Kunden, das restlos entfernt werden muss. Bislang wurden Wafer mit dieser Kunden-IP und damit wertvolle Ressourcen zerstört. Das Unternehmen arbeitet daher kontinuierlich an verbesserten Lösungen, um Kosten zu sparen und die Umwelt zu schonen.

In einem neuen, auf zweieinhalb Jahre ausgelegten Forschungsprojekt HERA „High-Efficiency-Rework-Apparatus“ entwickelt der Dresdner Halbleiterhersteller gemeinsam mit der GP Anlagenbau GmbH aus Lübbenau (Brandenburg) dessen patentiertes Verfahren der Vakuum-Saugstrahltechnik für die anspruchsvolle Halbleiterindustrie weiter. Erforscht wird, wie die Technologie des mittelständischen Unternehmens in sensiblen Reinraumbereichen eingesetzt werden kann, ohne diese zu kontaminieren. 

“Über unsere technologischen Netzwerke haben wir vor Ort einen Spezialisten gefunden, dessen weltweit einzigartiges Verfahren eine sehr gute Grundlage für die gemeinsame Forschung bietet”, erläutert Marcus Stadel, Manager Process Engineering bei Globalfoundries. “Das zeigt erneut die Stärke des regionalen Hightechclusters  und die Innovationsstärke der mittelständischen Unternehmen.”

„Die Zusammenarbeit mit einem der weltweit führenden Halbleiterhersteller ermöglicht uns die praxisnahe Weiterentwicklung unserer Technologie unter Beachtung strenger Reinraumkriterien. Beim Vakuum-Saugstrahlen wird in einem geschlossenen System Strahlmittel durch Unterdruck beschleunigt. Damit können Oberflächen und Bauteile emissionsfrei bearbeitet werden“, erläutert Marcel Heeger-Renaud, Geschäftsführer von GP Anlagenbau. „Besonders spannend ist die Kombination des klassischen Maschinenbaus mit der anspruchsvollen Halbleiterindustrie.“ 

Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) unterstützt das Vorhaben mit Hilfe der Fördermaßnahme „r+Impuls – Innovative Technologien für Ressourceneffizienz – Impulse für industrielle Ressourceneffizienz“  im Rahmenprogramm „Forschung für nachhaltige Entwicklungen (FONA)“ mit rund 450.000 Euro. https://www.fona.de/de/17909

Über GLOBALFOUNDRIES 
GLOBALFOUNDRIES ist ein führender Auftragsfertiger (Foundry) der Halbleiterindustrie. Dank einer überzeugenden Kombination von Design, Entwicklung und Fertigung zählt GLOBALFOUNDRIES viele der weltweit innovativsten Technologieunternehmen zu seinen Kunden. GLOBALFOUNDRIES verfügt über Produktionsstandorte auf drei Kontinenten. Weitere Informationen finden Sie unter www.globalfoundries.com

Über GP Anlagenbau
GP Anlagenbau ist ein mittelständiger Sondermaschinenhersteller, welcher auf Basis von patentierten Technologien emissionsfreie Anlagen für eine maßgeschneiderte Oberflächenbearbeitung entwickelt. Das Unternehmen baut kundenspezifische Anlagen u.a. zum Entgraten, Entschichten, Aufrauen zur Lackier- bzw. Klebevorbereitung und zur Bauteilreinigung und liefert vollautomatisierte Anlagen u.a. an führende Hersteller der Automobil-, Luftfahrt-, Solar- und Windkraftanlagenindustrie. Weitere Informationen finden Sie unter www.gp-anlagenbau.de

Bild: Globalfoundries