Aktuelle Veranstaltungen

Chemnitzer Seminar Elektronenstrahl-Lithografie

Materialien – Prozesse – Anwendungen

Seit 2015 verfügt das Fraunhofer ENAS über eine Elektronenstrahl-Belichtungsanlage SB254 der Vistec Electron Beam GmbH (Jena). Bereits damals lud das Fraunhofer ENAS anlässlich der Einweihung des Nanolithografie-Labs zu einem Chemnitzer Seminar rund um das Thema Elektronenstrahl-Lithografie ein. Dies soll wiederholt werden, um eine regelmäßiges Format zu bieten, bei dem Fachkollegen und Interessenten sowie potentielle Nutzer und Anwender der Elektronenstrahllithografie miteinander ins Gespräch kommen und sich in lockerer Atmosphäre zu  aktuellen Themen rund um die elektronenstrahlbasierte Nanostrukturierung auszutauschen.

Dabei soll neben den wissenschaftlichen Fragestellungen auch praktische Aspekte und Hintergründe beleuchtet werden, die bei internationalen Konferenzen oft nicht zur Sprache kommen.

Bild: Ines Escherich

Das Fraunhofer ENAS freut sich sehr, dass wieder exzellente Referenten für
die Veranstaltung gewonnen wurden, die mit einem breiten Spektrum an Vortragsthemen – von Elektronenstrahllacken und neuen Materialentwicklungen über die Datenaufbereitung bis hin zu einem breiten Mix von Anwendungen – zu einem informativen und kurzweiligen Workshop beitragen werden.

Das Programm finden Sie in der rechten Spalte unter Downloads.

Veranstaltungsort
Fraunhofer ENAS

Technologie-Campus 3
09126 Chemnitz

Fraunhofer ENAS

Veranstalter

Dr. Jens-Wolfram Erben
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Telefon: +49 371 45001-269
jens-wolfram.erben@enas.fraunhofer.de
www.enas.fraunhofer.de

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