Liste aller Mitglieder

Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)

Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)

Geschäftsfelder:
  • Kommunikation
  • Automobilindustrie
  • Elektronik
  • Halbleiterindustrie
  • Medizintechnik / Pharma
  • Luft- und Raumfahrt
Kernkompetenz:
  • Forschung und Bildung: Hochschulen
Spezialisierung:
  • MEMS

Blick in den Reinraum
Blick in den Reinraum
Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Das Zentrum für Mikrotechnologien der Fakultät für Elektrotechnik/Informationstechnik wurde 1991 aus dem Technikum Mikroelektronik an der Technischen Universität Chemnitz neu gegründet. Es ist die Grundlage für die forschungs- und praxisnahe Ausbildung der Studenten, Praktikanten und jungen Wissenschaftler sowie Forschungsarbeiten in den Bereichen Mikro- und Nanoelektronik, Mikromechanik und Mikrosystemtechnik.

Der Schlüssel zum Erfolg ist die interdisziplinäre Zusammenarbeit innerhalb des Zentrums für Mikrotechnologien. Geleitet wird das ZfM von Prof. Dr. Thomas Geßner. Zum Direktorium gehören die Inhaber der im folgenden Professuren:

  • Professur Mikrotechnologie - Prof. Geßner
  • Professur Mikrosystem- und Gerätetechnik - Prof. Mehner
  • Professur Schaltkreis- und Systementwurf - Prof. Heinkel
  • Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik - Prof. Horstmann
  • Professur Mess- und Sensortechnik - Prof. Kanoun
  • Professur Leistungselektronik und elektromagnetische Verträglichkeit - Prof. Lutz
  • Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme - Prof. Wunderle


Darüber hinaus gehören zwei Abteilungen, die Abteilung Lithografie/Ätzen/Maske sowie die Abteilung Schichtabscheidung zum ZfM.
Das Zentrum für Mikrotechnologien verfügt über 1000 qm Reinraum, davon entsprechen 300 qm der Reinraumklasse ISO4. Modernes Equipment gestattet die Prozessierung von 4“, 6“ und 8“ Wafern. Das ermöglicht sowohl die Entwicklung und Untersuchung einzelner Herstellungsschritte als auch die Entwicklung von Gesamttechnologien.

Im ZfM werden Entwicklungen in den Feldern smart systems, Mikro- und Nanoelektronik, Mikromechanik und Mikrosystemtechnik vorangetrieben. Forschungsschwerpunkte sind:

  • Basistechnologien und Komponenten für Mikro- und Nanosysteme wie zum Beispiel Sensoren, Aktoren, Arrays,
  • Entwicklung von Technologien für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik,
  • Design von Komponenten und Systemen,
  • Nanotechnologien, -komponenten und ultradünne funktionale Schichten.


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