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SONOTEC - Ultrasonic Solutions
Gegründet 1991 ist die SONOTEC GmbH heute ein weltweit führender Produkt- und Lösungsspezialist für Präzisionsmesstechnik. Mit etwa 200 Mitarbeitern entwickelt und fertigt das Technologieunternehmen am mitteldeutschen Standort Halle (Saale) in den drei Geschäftsbereichen – Nicht-invasive Flüssigkeitsüberwachung, Vorbeugende Instandhaltung und Ultraschallwandler – innovative Ultraschallmesstechnik. Zum weltweit vertriebenen Portfolio zählen kundenspezifische Ultraschallwandler und -sensoren sowie Prüfgeräte und Messtechniklösungen für eine Vielzahl verschiedener Branchen und Industrien.

Nicht-invasive Flüssigkeitsüberwachung in der Halbleiterindustrie
In der Halbleiterindustrie spielen die kompakten Ultraschallsensoren von SONOTEC bei der Herstellung von Wafern eine große Rolle. Hier kommen in unterschiedlichen Prozessen des Nassverfahrens eine Vielzahl von abrasiven, anhaftenden und korrosiven Flüssigkeiten zum Einsatz. Die Sensoren haben dabei den enormen Vorteil, dass ihre Messung nicht-invasiv und nicht-intrusiv erfolgt und damit sowohl für die Durchflussmessung als auch für die Luftblasendetektion optimal geeignet sind.

Vorteile der kontaktlosen Messung

• Berührungslose und kontaminationsfreie Überwachung der Prozesse
  
• Einsetzbar für eine Vielzahl an Medien
  
• Einfaches Einlegen des Schlauches
  
• Problemlose Nachrüstung der Anlagen
  
• Keine Ausfallzeiten der Maschinen bei Sensorwechseln
  
• Kein Leckagerisiko
  
• Kein Verschleiß
  
• Gesteigerte und verlässlichere Produktivität der Anlagen und damit eine gesteigerte Ausbeute
  

• Hochpräzise berührungslose Messung
  
• 8 Bauformen (¼", 3/8", ½", (¾"), 1", 1 ¼“, 40A, 50A OD) für eine Vielzahl an Schlauchgrößen
  
• Ausführung für den Einsatz im explosionsgefährdeten Bereich (Ex Zone 1)
  
• Kunststoffgehäuse (PVCC) und Kunststoffkonnektor (PA)
  
• Geschraubter Deckel und flexibles Inlay für eine optimale Kopplung zwischen Schlauch und Wandler
  
• Keine externe Elektronik für ein kompaktes Design und eine einfache Handhabung
  
• Kundenspezifische Kalibrierung für verschiedene Flussraten
  

• Hochgenaue Messung kleinster Durchflussraten
  
• Wiederholgenauigkeit von +/- 1%
  
• Schnelle und verzögerungsfreie Messung
  
• Unabhängig von Farbe und elektromagnetischen Eigenschaften der Flüssigkeit
  
• Messung von pulsierenden Strömungen
  
• Verschleiß- und wartungsfrei
  
• Einfache Messwertauswertung und Prozessintegration
  

• Berührungslose Messung
  
• Kein Koppelmedium erforderlich
  
• Integrierte Elektronik, keine externe Elektronikplatine erforderlich
  
• CE zertifiziert
  
• ATEX zertifiziert (optional)
  
• IP67
  
• Verschleiß- und wartungsfrei
  
• Optionale Software zur Konfiguration und Test der Sensoren