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SONOTEC GmbH

SONOTEC GmbH

SONOTEC GmbH

Geschäftsfelder:
  • Halbleiterindustrie
  • Medizintechnik / Pharma
  • Biotechnologie
Kernkompetenz:
  • Zulieferung: Material / Komponenten
Spezialisierung:
  • Durchflussmessung
  • Luftblasendetektion
  • Flow-Bubble Messung
  • Füllstandsüberwachung

SONOTEC - Ultrasonic Solutions
Gegründet 1991 ist die SONOTEC GmbH heute ein weltweit führender Produkt- und Lösungsspezialist für Präzisionsmesstechnik. Mit über 180 Mitarbeitern entwickelt und fertigt das Technologieunternehmen am mitteldeutschen Standort Halle (Saale) in den drei Geschäftsbereichen – Nicht-invasive Flüssigkeitsüberwachung, Vorbeugende Instandhaltung und Zerstörungsfreie Prüfung – innovative Ultraschallmesstechnik. Zum weltweit vertriebenen Portfolio zählen kundenspezifische Ultraschallwandler und -sensoren sowie Prüfgeräte und Messtechniklösungen für eine Vielzahl verschiedener Branchen und Industrien.

Nicht-invasive Flüssigkeitsüberwachung in der Halbleiterindustrie
In der Halbleiterindustrie spielen die kompakten Ultraschallsensoren von SONOTEC bei der Herstellung von Wafern eine große Rolle. Hier kommen in unterschiedlichen Prozessen des Nassverfahrens eine Vielzahl von abrasiven, anhaftenden und korrosiven Flüssigkeiten zum Einsatz. Die Sensoren haben dabei den enormen Vorteil, dass ihre Messung nicht-invasiv und nicht-intrusiv erfolgt und damit sowohl für die Durchflussmessung als auch für die Luftblasendetektion optimal geeignet sind.

Vorteile der kontaktlosen Messung

  • Berührungslose und kontaminationsfreie Überwachung der Prozesse
  • Einsetzbar für eine Vielzahl an Medien
  • Einfaches Einlegen des Schlauches
  • Problemlose Nachrüstung der Anlagen
  • Keine Ausfallzeiten der Maschinen bei Sensorwechseln
  • Kein Leckagerisiko
  • Kein Verschleiß
  • Gesteigerte und verlässlichere Produktivität der Anlagen und damit eine gesteigerte Ausbeute

SEMIFLOW CO.65 V2.0 (Bildnachweis: SONOTEC GmbH)
SEMIFLOW CO.65 V2.0 (Bildnachweis: SONOTEC GmbH)
Durchflussmessung in der Halbleiterindustrie
Wird eine Reinigungslösung zu niedrig oder zu hoch dosiert, werden zusätzliche Ressourcen notwendig, da der Reinigungsprozess wiederholt werden muss. Im ungünstigsten Fall werden die zu reinigenden Halbleiterscheiben unbrauchbar und ein bedeutender Wertverlust ist die Folge. Eine exakte Durchflussmessung ist daher entscheidend für eine effiziente Nutzung der Produktionsmittel.

SEMIFLOW CO.65 – Für die Halbleiterindustrie entwickelter Sensor zur Durchflussmessung
  • Hochpräzise berührungslose Messung
  • 8 Bauformen (¼", 3/8", ½", (¾"), 1", 1 ¼“, 40A, 50A OD) für eine Vielzahl an Schlauchgrößen
  • Ausführung für den Einsatz im explosionsgefährdeten Bereich (Ex Zone 1)
  • Kunststoffgehäuse (PVCC) und Kunststoffkonnektor (PA)
  • Geschraubter Deckel und flexibles Inlay für eine optimale Kopplung zwischen Schlauch und Wandler
  • Keine externe Elektronik für ein kompaktes Design und eine einfache Handhabung
  • Kundenspezifische Kalibrierung für verschiedene Flussraten

SONOFLOW IL.52 (Bildnachweis: SONOTEC GmbH)
SONOFLOW IL.52 (Bildnachweis: SONOTEC GmbH)
SONOFLOW IL.52 – Inline-Durchflusssensor zur genauen Messung von geringen Durchflussmengen
  • Hochgenaue Messung kleinster Durchflussraten
  • Wiederholgenauigkeit von +/- 1%
  • Schnelle und verzögerungsfreie Messung
  • Unabhängig von Farbe und elektromagnetischen Eigenschaften der Flüssigkeit
  • Messung von pulsierenden Strömungen
  • Verschleiß- und wartungsfrei
  • Einfache Messwertauswertung und Prozessintegration

SONOCHECK ABD06.87 (Bildnachweis: SONOTEC GmbH)
SONOCHECK ABD06.87 (Bildnachweis: SONOTEC GmbH)
Luftblasendetektion in der Halbleiterindustrie
Das Vorhandensein von Luftblasen in kritischen Prozessabläufen kann weitreichende Auswirkungen auf die Herstellung von Halbleiterscheiben haben. Bei der Verwendung von Fotolacken kann das Auftreten von Luftblasen zu einem Defekt der Wafer führen; beim Einsatz von Prozesskühlwasser zu einer Unterbrechung der Produktionsprozesse. Eine rechtzeitige Detektion von Luftblasen ist somit ausschlaggebend für das Erreichen der Produktionsziele.

SONOCHECK ABD06 – Luftblasensensor für Applikationen in Industrieumgebungen
  • Berührungslose Messung
  • Kein Koppelmedium erforderlich
  • Integrierte Elektronik, keine externe Elektronikplatine erforderlich
  • CE zertifiziert
  • ATEX zertifiziert (optional)
  • IP67
  • Verschleiß- und wartungsfrei
  • Optionale Software zur Konfiguration und Test der Sensoren

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