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Meyer Burger (Germany) GmbH

Meyer Burger (Germany) GmbH

Meyer Burger (Germany) GmbH

Geschäftsfelder:
  • Equipment
  • Erneuerbare Energien
  • Halbleiterindustrie
Kernkompetenz:
  • Halbleiterhersteller: Chips, Displays, MEMS / MOMS, Sensors
Spezialisierung:
  • Oberflächenbeschichtung
  • Beschichten, Strukturieren u. Modifizieren von Oberflächen
  • Prozess-Equipment
  • Plasma Technologies

Die Meyer Burger (Germany) GmbH ist ein weltweiter Anbieter von Systemen zur Realisierung von Plasmaprozessen. Der modulare Aufbau der Systeme ermöglicht eine flexible Anpassung an verschiedene Methoden zur Oberflächenbearbeitung, wie zum Beispiel plasmagestützte Schichtabscheidung metallischer und/oder dielektrischer Schichten (PECVD und PVD) oder reaktives Ionenätzen (RIE). Dieses Anlagenspektrum wird weiterhin durch variabel konfigurierbare Durchlauföfen ergänzt.

Die Anlagensysteme kommen vorwiegend in der Solarindustrie, der Halbleiterindustrie, der Präzisions-Optik- und Sensoren-Fertigung sowie bei Laboranwendungen zum Einsatz. Weitere Einsatzfelder finden sich in der Automobilindustrie und im Bereich der Glasbeschichtung.

Die Anlagen können dabei für die Prozessierung von Flächen von einigen cm² bis weit über 100 m² pro Stunde modular konfiguriert werden. Neben Einzelsubstraten ist auch die Verarbeitung von Bändern im roll-to-roll Verfahren möglich.

Um höchsten Ansprüche an die Qualität der Anlagenfertigung gerecht zu werden, können die Anlagen in einem Produktionsreinraum hergestellt werden. Eine breite Basis an fest installierten Anlagen in einem Technikum stellt zudem eine schnelle und zielsichere Entwicklung der kundenspezifischen Maschinen sicher, da hiermit die Möglichkeit zur sofortigen Erprobung von Komponenten und Prozessen gegeben ist.

Weiterhin pflegt das Unternehmen seit vielen Jahren Kundenbeziehungen mit renommierten industriellen und universitären Forschungseinrichtungen.

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