Slurry-Recycling-Anlage
Die HighQ-Factory GmbH hat sich als erstes Unternehmen weltweit auf die Entwicklung, Fertigung und Installation hochmoderner Slurry-Recycling-Anlagen spezialisiert. Recyclingraten von jeweils 85% für Slurry und Reinstwasser schonen nicht nur die Umwelt sondern wirken sich auch unmittelbar auf sich dadurch reduzierende Produktionskosten aus. Das innerhalb des CMP-Prozesses verwendete Wasser-Slurry-Gemisch kann optimal gefiltert und damit wertvolles Slurry sowie Reinstwasser
zurückgewonnen werden. Slurry und Wasser können danach wieder dem CMP-Prozess zugeführt werden.
