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FormFactor, FRT Metrology

FormFactor, FRT Metrology

Geschäftsfelder:
  • Bahn- und Automobilindustrie
  • Equipment
  • Elektronik
  • Erneuerbare Energien
  • Halbleiterindustrie
  • Medizintechnik / Pharma
Kernkompetenz:
  • Halbleiterhersteller: Chips, Displays, MEMS / MOMS, Sensors
  • Software / Hardware: Anwendungs-/ Individualsoftware
Spezialisierung:
  • 3D-Oberflächenmesstechnik

MicroProf® FE - Unser Frontend Experte
MicroProf® FE - Unser Frontend Experte
FormFactor FRT Metrology ist Hersteller von 3D-Oberflächenmesstechnik für Forschung und Produktion. Unsere hochpräzisen Messgeräte basieren auf dem SurfaceSensTM Multisensorkonzept und sind mit einer selbst entwickelten Software ausgestattet.

Die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme liefern (auch vollautomatisch) Informationen über Topografie, Stufenhöhe, Rauheit, Schichtdicke und viele weitere Parameter, berührungslos und zerstörungsfrei. Je nach Anwendung können verschiedene Messverfahren mit Punkt-, Linien-, Flächen- und Schichtdickensensoren sowie Rasterkraftmikroskopie in einem Messgerät kombiniert werden - die Messbereiche reichen von Metern bis zu Sub-Nanometern. Das FormFactor FRT MicroProf® hat sich in den Bereichen Halbleiter-Frontend, Advanced Packaging, MEMS, VCSEL, Automotive, Maschinenbau und Optik bewährt.
FormFactor, Inc. ist ein führender Anbieter von wichtigen Test- und Messtechnologien für den gesamten IC-Lebenszyklus - von der Charakterisierung, Modellierung, Zuverlässigkeit und Design-Debugging bis hin zu Qualifizierung und Produktionstest.


Oberflächencharakterisierung eines Wafers
Oberflächencharakterisierung eines Wafers
FRT Metrology konzentriert sich auf die weltweit stark wachsenden Technologiemärkte sowie die zunehmende Miniaturisierung von Oberflächenstrukturen bei Investitions- und Konsumgütern, wie z.B. Halbleiterprodukten, MEMS oder Nanotechnologie.
Oberflächenstrukturen solcher Produkte werden immer anspruchsvoller, weil sie neben der Miniaturisierung auch einer wachsenden Funktionalisierung unterliegen. Häufig müssen die Messsysteme in die laufende Produktion integriert werden können, zerstörungsfrei, also kontaktlos, arbeiten und automatisierbar sein.

Hierfür bietet FRT Metrology die Produkte sowie die erforderliche Erfahrung, denn jede Messaufgabe ist, abhängig von Material und Einsatzbereich, anders gelagert.
Die FRT Messtechnik zeichnet sich durch ex

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