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FRT GmbH

FRT GmbH

Geschäftsfelder:
  • Automobilindustrie
  • Equipment
  • Elektronik
  • Erneuerbare Energien
  • Halbleiterindustrie
  • Medizintechnik / Pharma
Kernkompetenz:
  • Halbleiterhersteller: Chips, Displays, MEMS / MOMS, Sensors
  • Software / Hardware: Anwendungs-/ Individualsoftware
Spezialisierung:
  • 3D-Oberflächenmesstechnik

MicroProf®  FE - Unser Frontend Experte
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FRT GmbH – the art of metrology

Die FRT GmbH bietet 3D-Oberflächenmesstechnik für die Forschung und Produktion. Mit Mikro- und Nanometerauflösung liefern die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme berührungslos und zerstörungsfrei sowie wahlweise vollautomatisch Informationen über die Topographie, Struktur, Stufenhöhe, Rauheit, Verschleiß, Dickenvariation, Schichtdicke und viele weitere Parameter.
Mehr als 600 Anlagen sind weltweit bei Unternehmen aus den Branchen Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Automotive, Optik, Solar/Photovoltaik und anderen im Einsatz. Das Unternehmen unterhält Tochtergesellschaften in den USA, China sowie ein Vertriebs- und Servicenetz in den USA, Asien und Europa.

Oberflächencharakterisierung eines Wafers
Oberflächencharakterisierung eines Wafers
FRT konzentriert sich auf die weltweit stark wachsenden Technologiemärkte sowie die zunehmende Miniaturisierung von Oberflächenstrukturen bei Investitions- und Konsumgütern, wie z.B. Halbleiterprodukten, MEMS oder Nanotechnologie.
Oberflächenstrukturen solcher Produkte werden immer anspruchsvoller, weil sie neben der Miniaturisierung auch einer wachsenden Funktionalisierung unterliegen. Häufig müssen die Messsysteme in die laufende Produktion integriert werden können, zerstörungsfrei, also kontaktlos, arbeiten und automatisierbar sein.

Multi-Sensor Anordnung
Multi-Sensor Anordnung
Hierfür bietet FRT die Produkte sowie die erforderliche Erfahrung, denn jede Messaufgabe ist, abhängig von Material und Einsatzbereich, anders gelagert.
Die FRT Messtechnik zeichnet sich durch extreme Flexibilität dank Multi-Sensor Messtechnik und eine hohe Integrierbarkeit in die Produktion aus. Standardisierte Komponenten, wie z.B. hochpräzise Mechaniken, Steuerelektroniken und die hauseigene leistungsfähige Software, ermöglichen produktübergreifende Kostensynergien sowie eine Reduktion der Komplexität in der Fertigung. Insbesondere die über Jahre weiterentwickelte und ständig gepflegte Software stellt eine wichtige Kernkompetenz von FRT dar.
Mittels der FRT Multi-Sensor Technik kann auf Kundenanforderungen besonders individuell eingegangen werden. So ermöglicht sie nicht nur den einfachen Sensorwechsel durch den Bediener, sondern auch den Einsatz mehrerer Sensoren in einem System, um verschiedene Messbereiche und Messverfahren zu kombinieren. Dadurch bietet sich die Möglichkeit mit unterschiedlichen Sensoren eine Messaufgabe zu lösen, falls die gewünschten Parameter nicht direkt zugänglich sind. Jeder Sensor führt eine Messung durch und die verschiedenen Ergebnisse werden kombiniert. Der entscheidende Schritt ist nun, dass das Messgerät, bzw. das benutzte Rezept, die komplette Messaufgabe kennt und vollständig umsetzt. D.h. nicht nur die Messungen mit allen notwendigen Sensoren werden automatisiert erledigt, sondern die Software nimmt auch die unterschiedlichen Messergebnisse auf und errechnet daraus die gewollten Parameter.
Diese Innovation stellte FRT als erstes Unternehmen vor und begründete damit schon früh ein branchenweit etabliertes Marktsegment. Heute bietet FRT eine große Auswahl an berührungslos arbeitenden und hochauflösenden Sensoren, welche Oberflächen z.B. mittels eines Lichtstrahls „abtasten“ oder Rastersondenverfahren, die bis auf den Nanometer genau charakterisieren.

FRT Thermoeinheit
FRT Thermoeinheit
Durch die verfügbare Thermoeinheit können Messungen der Oberflächentopographie von Bauteilen unter kontrollierter thermischer Beanspruchung durchgeführt werden. Dies ist unerlässlich, da Änderungen der Bauteile durch thermische Beanspruchung zu Funktionsstörungen oder sogar Ausfällen führen können. Sowohl vollautomatische Messungen der Oberflächentopographie bei unterschiedlichen Temperaturen, als auch Verweilzeiten bei konstanten Temperaturen sind komplett einstellbar. Der Temperaturbereich erstreckt sich von 10°C oder -80°C (flüssige Stickstoffkühlung) bis zu 400°C mit einer schnellen Heiz- und Kühlrate und einer homogenen Temperaturverteilung auf der Probenoberfläche.

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