Liste aller Mitglieder

FHR Anlagenbau GmbH

FHR Anlagenbau GmbH

FHR Anlagenbau GmbH

Geschäftsfelder:
  • Automobilindustrie
  • Elektronik
  • Erneuerbare Energien
  • Halbleiterindustrie
Kernkompetenz:
  • Zulieferung: Equipment
Spezialisierung:
  • Sputtering Equipment
  • Evaporation Equipment
  • Vacuum coating equipment (PVD, PECVD, CVD, ALD)
  • Vacuum process equipment for etching (PE, RIE)
  • Vacuum process equipment for treatment (FLA, RTP, UV-ozone cleaning)

FHR.Star-Produktreihe für Wafer und kleinflächige Substrate
FHR.Star-Produktreihe für Wafer und kleinflächige Substrate
Die FHR Anlagenbau GmbH ist auf die Entwicklung von innovativen Dünnschichttechnologien und Vakuumbeschichtungsanlagen sowie Dienstleistungen im Dünnschichtbereich spezialisiert. Das 1991 in Dresden gegründete Unternehmen ist in Ottendorf-Okrilla ansässig und gehört seit 2008 zur centrotherm Gruppe.

FHR.Star.200-FLA - Blitzlampen-Temperanlage für Waferscheiben bis 200 mm Durchmesser
FHR.Star.200-FLA - Blitzlampen-Temperanlage für Waferscheiben bis 200 mm Durchmesser
Das größte Geschäftsfeld ist der Beschichtungsanlagenbau für die Nutzung von Bedampfungs-, Sputter-, CVD- und ALD-Technologien in Industrie und Forschung. Diese Anlagen finden Einsatz in vielfältigen Bereichen der Wirtschaft wie der Halbleitertechnik, Elektronik und Sensorik, der Optik, der Photovoltaik, hier speziell CIGS und organische PV, der Solarthermie und in der Automobilindustrie.

FHR.Star.100-ALD-PECVD-FLA - Kombinierte Vakuumprozesslösung für Atomlagenabscheidung, plasma-verstärktes CVD und ultrakurzes Tempern von 100-mm-Substraten
FHR.Star.100-ALD-PECVD-FLA - Kombinierte Vakuumprozesslösung für Atomlagenabscheidung, plasma-verstärktes CVD und ultrakurzes Tempern von 100-mm-Substraten
Das Produktportfolio umfasst modulare Clusteranlagen für die stationäre Beschichtung von Substraten, Durchlaufanlagen (Inlineanlagen) mit vertikaler oder horizontaler Substratlage für das Beschichten von Glasscheiben oder Rohroberflächen sowie Rolle-zu-Rolle-Anlagen für das Beschichten flexibler Substrate wie Metall- oder Polymerfolien.

Die FHR arbeitet weltweit mit namhaften Industriepartnern und Forschungsinstitutionen zusammen. Speziell bei der Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtung nimmt die FHR eine führende Marktposition ein.

Über den Anlagenbau hinaus fertigt die FHR in einem Geschäftsbereich Planar- & Rohrsputtertargets und verfügt über eine starke Serviceabteilung.

Thin-film equipment. Customized.

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