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Vistec Electron Beam GmbH
Mittlere Unternehmen (<250 Mitarbeiter:innen oder <50 Mio. Jahresumsatz)
Zielmärkte
Elektronik
Branchen
Maschinen & Anlagen
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Applikationen·Elektronenstrahl-Lithographie·Elektronenstrahl-Lithographie; Ebeam; Halbleitergeräteausrüstung·Equipment·Halbleiterindustrie·Lithography·Mikro- / Nanoelektronik
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Ilmstraße 4
07743 Jena
07743 Jena
+49 3641 7998 0
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Über das Mitglied
As a long-standing equipment supplier, Vistec Electron Beam GmbH is providing leading technology solutions for advanced electron-beam lithography. Based on the Variable Shaped Beam (VSB) principle, the electron-beam lithography systems are mainly utilized for semiconductor applications and advanced research as electron-beam direct write in semiconductor manufacturing, mask making as well as integrated optics and several new emerging markets.
For some time now Vistec’s Variable Shaped Beam systems are increasingly used as a direct write technology for Silicon as well as Compound Semiconductor based IC manufacturing. Using an advanced electron-beam writer in mix-and-match mode with an optical lithography system has proven itself as a practical and cost-effective solution for these applications. Especially in the Compound Semiconductor manufacturing market Vistec Electron Beam‘s systems have demonstrated their production capability & high system reliability also in 24 / 7 operation by double digit fab installations world wide.
Vistec Electron Beam´s roots go back to the 1950´s when the company was part of Carl Zeiss Jena where the first electron microscope was developed. In 1974, the first commercial Variable Shaped Beam system was launched. Vistec Electron Beam GmbH has been active on the market in its current structure since 1996. The company is a wholly owned subsidiary of the Dr. Johannes Heidenhain GmbH. Currently the company employs more than 100 people worldwide. 80% of its employees hold a degree in Physics or Technical Sciences and Engineering.
Located in Jena (Federal State Thuringia, Germany) the company benefits from the synergies between the university, leading edge research institutes, small and mid-size equipment and supplier companies as well as key semiconductor manufactures in the neighboring area. This provides excellent preconditions for a successful product development today and in the future. In addition to its production facility in Germany, Vistec Electron Beam maintains service and support centers in Europe, Taiwan and in the US.
Vistec Firmen und Produktbeschreibung
Die Vistec Electron Beam GmbH mit Sitz in Jena (Thüringen) ist ein weltweit agierendes Unternehmen der Halbleitergeräteausrüstungsbranche. Die Firma entwickelt, produziert, verkauft und betreibt Service von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die überwiegend in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen. Darüber hinaus werden die Anlagen auch im Bereich der angewandten Forschung und Integrierten Optik verwendet.
Elektronenstrahl-Lithographie hat sich aufgrund ihrer hohen Flexibilität & sehr hohen Auflösung als bevorzugte Technologie im Bereich Forschung & Entwicklung und für die Strukturierung von Masken für die Halbleiterindustrie seit vielen Jahren etabliert.
Darüber hinaus hat das Elektronenstrahl-Direktschreiben in den vergangenen Jahren auch für industrielle Anwendungen zunehmend an Bedeutung gewonnen.
Die Vistec Electron Beam GmbH hat eine mehr als 40 jährige Erfahrung auf dem Gebiet der Entwicklung und Herstellung von Elektronenstrahlbelichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Die Wurzeln der Firma gehen zurück auf Carl Zeiss Jena, einem weltbekannten Unternehmen der feinmechanisch-optischen Industrie. Bereits in den frühen 1970er Jahren erfolgte hier die Markteinführung der ersten, auf dem Prinzip des variablen Formstrahls basierenden kommerziellen Elektronenstrahl-Belichtungsanlage.
Seit dieser Zeit wurde die Technologie durch ein Team hoch qualifizierter & motivierter Mitarbeiter ständig weiterentwickelt, um den Anforderungen der führenden Halbeiterfirmen gerecht zu werden. Die Firma beschäftigt heute etwa 110 Mitarbeiter, Auszubildende und Praktikanten. Darüber hinaus werden ca. 150 hochqualifizierte Arbeitsplätze in der Region gebunden.
Mit Firmensitz in Jena (Freistaat Thüringen) profitiert die Vistec Electron Beam GmbH von der Nähe zur Friedrich-Schiller-Universität, zu verschieden Fraunhofer Instituten sowie zu einer Vielzahl von kleinen und mittelständischen Unternehmen. So haben sich über viele Jahre partnerschaftliche Beziehungen entwickelt; ein wesentlicher Faktor für den bisherigen Geschäftserfolg. Die Produktlinien umfassen ein 200mm Plattform Lithographiesystem (Vistec SB254) und ein 300mm Lithographiesystem (Vistec SB3050-2).
Vistec SB254
