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Meyer Burger (Germany) GmbH

Meyer Burger (Germany) GmbH

Geschäftsfelder:
  • Equipment
  • Halbleiterindustrie
Kernkompetenz:
  • Zulieferung: Equipment
Spezialisierung:
  • Oberflächenbeschichtung
  • Beschichten, Strukturieren u. Modifizieren von Oberflächen
  • Plasma- u. Ionenstrahltechnologien
  • Prozess-Equipment

Die Meyer Burger ST MicroSystems ist ein weltweiter Anbieter von Ionenstrahl- und Plasmaprozesssystemen. Der modulare Aufbau der Systeme ermöglicht eine flexible Anpassung an verschiedene Methoden zur Oberflächenbearbeitung, wie Reaktives Ionenätzen (RIE), Plasmagestützte Schicht-Abscheidung (PECVD) oder Ionenstrahlätzen und -beschichten (IBE, IBSD). Die Anlagensysteme kommen vorwiegend in der Halbleiterindustrie, der Präzisions-Optik- und Sensoren-Fertigung sowie bei Laboranwendungen zum Einsatz. Das Unternehmen pflegt seit vielen Jahren Kundenbeziehungen mit renommierten industriellen und universitären Forschungseinrichtungen. Das Produktspektrum der MicroSystems reicht von Systemen für die Waferbearbeitung über großflächige Anwendungen bis hin zu Bandbearbeitungsanlagen, auf denen ein breites Spektrum an technologischen Prozessen realisiert werden kann. Die Anlagen unterscheiden sich dabei von Wettbewerbern in erster Linie durch die im eigenen Haus gefertigten Kernkomponenten wie Plasma- und Ionenstrahl-Quellen. Durch konsequente Modularisierung in der Gestaltung der Systeme können die verschiedenen Anlagentypen für die jeweiligen Prozessanforderungen optimiert werden.

Die Business Unit MicroSystems gehört zusammen mit der BU Photovoltaik, beide aus der Roth & Rau AG hervorgegangen und mit Standort in Hohenstein-Ernstthal, zur schweizer Meyer Burger Technology AG.

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