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RoodMicrotec: Tiefer Einblick in Waferstrukturen und deren Qualität

  • RoodMicrotec: Tiefer Einblick in Waferstrukturen und deren Qualität
    Mit dem STI iFocus 505, einem hochmodernen System, erweitert das Unternehmen ab dem ersten Quartal 2019 sein Leistungsportfolio um eine Vielzahl neuer Möglichkeiten.

RoodMicrotec N.V., der führende unabhängige Anbieter von Halbleiterbauelementen und begleitenden  hochwertigen  Dienstleistungen,  gibt  heute  bekannt,  dass  ein  neues  automatisches  optisches Inspektionssystem für Halbleiter im Testbereich der RoodMicrotec in Nördlingen installiert wurde. Mit dem STI iFocus 505, einem hochmodernen System, erweitert das Unternehmen ab dem ersten Quartal 2019 sein Leistungsportfolio um eine Vielzahl neuer Möglichkeiten.

 

Die Anforderungen der Industrie entwickeln sich schnell hin zur vollständigen Automatisierung der Prozesse. Mit dieser neuen Leistung verfügt RoodMicrotec über eine Lösung, die den Bedürfnissen der Kunden, insbesondere im Automobilsektor, entspricht.

Martin  Sallenhag,  CEO  der RoodMicrotec,  sagt: "Der Zweck dieser Dienstleistung ist es, Ausfälle und Schäden an eingehenden Wafern zu erkennen und die Qualitat an ausgehenden Wafern zu sichern. So können wir mögliche Fehler  aus  vorangehenden  Prozessschritten  wie Waferherstellung  und  Transport  identifizieren  und unseren  Kunden  Produkte  in  bestmöglicher  Qualität liefern.  Darüber  hinaus  werden  wir  uns  durch  die Inbetriebnahme dieses Systems innerhalb unserer bestehenden Produktionslandschaft als starker, zuverlässiger und qualitätsbewusster Partner für all unsere Kunden aus der Halbleiterindustrie auszeichnen können."

Das AOI-System ist in der Lage, 6-, 8- und 12-Zoll-Wafer vollautomatisch von Kassette zu Kassette zu verarbeiten. Es bietet auch die Möglichkeit, gesägte Wafer oder Waferteilstücke, die auf einem Filmrahmen montiert sind, zu handhaben und zu prüfen.

Die beiden Hauptkomponenten des Systems sind die Handlingeinheit und die optische Einheit. Die Handlingeinheit besteht  aus  einem  Roboter,  der  die  Wafer  bearbeitet  und  von  der  Kassette  zur  Visioneinheit  führt.  Die Visioneinheit wird durch die bewegliche Aufnahmehalterung auf hochpräzisen Linearmotoren und dem direkt darüber liegenden leistungsstarken optischen System gebildet. Diese Visioneinheit ist auf einem eine halbe Tonne wiegenden Granitblock montiert, und liegt auf vier Luftdämpfern, die die nötige Stabilität gewährleisten und Vibrationen kompensieren.

Der Durchsatz des Systems hängt von der verwendeten Vergrößerung ab. Hauptsächlich wird 5X verwendet, aber die Maschine ist auch für 2,5X, 3,5X, 7,5X und 10X geeignet. Die Vergrößerung bestimmt die Größe der Fehler, die erkannt werden können. Bei 10X können beispielsweise Fehler der Größe 1,6µm x 1,6µm gefunden werden.

Über RoodMicrotec

RoodMicrotec ist ein führender unabhängiger Anbieter von Halbleiterbauelementen und Qualitätsdienstleistungen. Mit 50 Jahren Erfahrung in der Halbleiter- und Elektronikindustrie ist RoodMicrotec als geschätzter Partner für viele Unternehmen weltweit etabliert. Das Unternehmen bietet Full-Turnkey-ASIC-Services für hochkomplexe Mikrochips, die vollständig auf die spezifischen Anwendungen einzelner Kunden zugeschnitten sind. In Zusammenarbeit mit starken Partnern steuert RoodMicrotec den gesamten Entwicklungs- und Produktionsfluss der ASICs in der gewünschten Stückzahl, von kleinen Mengen bis hin zu mehreren Millionen Stück pro Jahr. Die schlüsselfertige Lösung umfasst Projektmanagement, Wafertest, Montage, Endtest, Qualifikation, Logistik und Fehleranalyse. Alle Dienstleistungen entsprechen den Industrie- und Qualitätsanforderungen der Branchen Hochzuverlässigkeit, Luft- und Raumfahrt, Automotive, Gesundheitswesen und Industrie. Der Hauptsitz von RoodMicrotec befindet sich in Zwolle, Niederlande, mit operativen Einheiten in Nördlingen und Stuttgart, Deutschland.

Weiterführende Links


www.roodmicrotec.com

Foto: RoodMicrotec